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高純氣體管道配管的選擇要點

2022-09-29 10:46:23

  高純氣體通過管道輸送,高純氣體輸送至加氣站質量是否合格的關鍵是供氣系統設計合理,管道及附件選擇正確,施工安裝正確,試驗檢測合格,那么,下面一起了解下高純氣體管道配管及附件材料的選擇要點吧!

  高純氣體管道輸送管道應當根據工藝對氣體純度、允許雜質含量、微粒含量等的要求,采用相應質量的管材。例如,半導體產業(yè)由于其生產技術復雜、加工精細,不僅要求清潔的生產環(huán)境,而且對生產過程中所需的各種高純氣體有特定而嚴格的要求,從微米技術到亞微米、深亞微米(小于0.35g.m)技術含水量要求極其嚴格,10-6)ppm級)已不能滿足要求,需要達到10.因此輸送管道本身的管道材料特性必須適應高純度、超高純氣體的要求。

  談談在精細化工、微電子、光電、生物制藥等高科技行業(yè)的清潔、超純管道系統中安裝高純氣體管道的選擇。

  首先,對于輸送高純氣體的管道來說,影響氣體質量的管道材料的主要特性是透氣性、排氣速度、吸附性、表面粗糙度和耐磨性、耐腐蝕性。

  1、透氣性:

  氣體從壓力或分壓高的一側透過材料流入壓力或分壓,低的一側的現象就是氣體滲透。輸送要求ppm級以上純度的氣體,必須從透氣性的角度選擇不銹鋼管或鋼管,如果不適當選擇不符合要求的管道材料,采取任何凈化手段都是徒勞的。

  2、排氣速度:

  在材料冶煉過程中形成的管材晶界或晶格內部存在氮、烴等雜質,高純氣體傳輸過程中這些雜質緩慢釋放,污染高純氣體。特別是雜質要求為ppb以上的高純度氣體。通常低碳不銹鋼管的排氣速度極低。

  3、吸附性:

  水分等雜質是極性分子,因此吸附性強。橡膠、塑料或表面粗糙的材料容易吸附水分等雜質,銅材對水的吸附性非常強,用這些材料輸送高純氣體容易受到污染。輸送ppm以下氧氣除紫銅管外,高純氣體不使用銅管和塑料管。氣體接觸的墊片、填充劑也不得使用橡膠、塑料材料(包括聚四氟乙烯)。

  4、表面粗糙度和耐磨性:

  為了確保輸送氣體的清潔度,要求管道材料的內表面有極高的光澤度。這樣可以防止污染粒子和濕氣滯留在管道壁上,凈化時比較容易吹走。管材比較干凈耐磨,氣流高速清洗少產生金屬顆粒,不銹鋼比銅管產生顆粒少,因此不銹鋼管耐磨性優(yōu)于鋼管。

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