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氦質譜檢漏儀是一種利用氦作為氣體泄漏的質譜儀，用于用氣體分析儀檢測氦氣。它是國內外真空容器檢漏的技術。與一般的檢漏技術相比，氦質譜檢漏技術更快.準確.靈敏度高，無損傷。
氦質譜檢漏儀表的示蹤氣體也可以是其他元素。但由于青島高純氦氣具有以下特點，所以通常選擇氦氣：
1.空氣中的氦氣含量很小，只占20萬分之一，容易發(fā)現(xiàn)；
2.氦分子小.質量輕.易擴散.比其他氣體更容易穿越漏洞；
3.氦離子荷質比小，便于質譜分析；
4.氦是無毒的.無味，對大氣無污染。
5.氦是惰性氣體，化學性質穩(wěn)定，不會腐蝕和損壞設備；
6.氦氣無毒，不凝結，難容納水。
由于氦氣具有上述特性，氦氣泄漏檢測的應用已從科研機構應用到工業(yè)企業(yè)甚至個體企業(yè)?？梢哉f，應用領域非常廣泛。
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