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高純氣體的充裝流程

2023-12-17 04:42:17

  高純氣體的充裝流程主要有三步,一準備工作,二抽空操作,三管道保壓操作。一、準備工作:1、氣瓶上架。2、微開閥門通入0.2MPa壓力3、檢查充裝軟管與氣瓶連接是否泄漏。4、關

  高純氣體的充裝流程主要有三步,一準備工作,二抽空操作,三管道保壓操作。

  一、準備工作:

  1、氣瓶上架。

  2、微開閥門通入0.2MPa壓力

  3、檢查充裝軟管與氣瓶連接是否泄漏。

  4、關閉閥門,開啟充裝排放空閥,泄壓至0.

  5、目測壓力表是否為0。

  二、抽空操作:

  1、開啟真空泵,同時抽空匯流排,負壓值≥0.1MPa,繼續(xù)抽真空15~30min,關閉抽空管道截止閥后,停止真空泵;

  2、緩慢開啟抽空總閥。

  3、真空表指示值<-0.1MPa

  4、抽空5~15分鐘后。

  5、關閉抽空總閥。

  6、開啟通氣閥。

  7、關閉真空泵,抽空結束。

  三、管道保壓操作:

  1、高純氣體的充裝結束后,關閉充裝排總閥。

  2、30分鐘后目測壓力表壓降低于10~15%。

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